Ваше сообщение отправлено. Мы Вам перезвоним!
Вторая индустриализация России

Перезвоните мне!

Закрыть
Главная » Прорывные технологии » Производство машин и оборудования » Производство монокристаллического кремния

Производство монокристаллического кремния

  • Array

Производство монокристаллического кремния по методу Чохральского.

 

Звони: +7-908-918-03-57 или Написать нам

 

Описание:

Производство монокристаллического кремния осуществляется из поликристаллического кремния по методу Чохральского в специальных установках.

Суть метода Чохральского — стабильный рост монокристаллов за счет вытягивания из расплава с помощью затравочного кристалла, такой же чистоты, как и монокристалл. В тигель загружается шихта (например, кремний) и начинается процесс плавления до определенной температуры выше температуры плавления (для кремния — 1415 градусов). После в расплав вводится затравка, выдерживается некоторое время и начинает подниматься, вращаясь с определенной скоростью (например, 2 мм/мин) и вытягивая монокристалл с определенной скоростью. Тигель вращается в противоположную сторону, оптимизируя массообмен в расплаве. Начинается вытягивание монокристалла в более холодную зону. После того как кристаллизация на конце затравки началась, растет цилиндр монокристалла длиной в несколько сантиметром, а после происходит формирование диаметра монокристалла за счет плавного понижения температур в расплаве. К завершению процесса температуру вновь поднимают выше температуры, при которой происходил рост для формирования цилиндрической структуры в несколько сантиметров. После температуры медленно понижают и монокристалл извлекают из ростовой установки.

За последние пять десятилетий создано и широко внедрено 10 поколений промышленных установок для выращивания монокристаллов кремния по методу Чохральского серии «Редмет».

Производство монокристаллического кремния

 

Установка «Редмет-90М» является развитием серии установок «Редмет» и базируется на конструктивных решениях, прошедших многолетнюю отработку в серийном производстве. Ее отличают надежность работы, удобство обслуживания, простота изготовления и эксплуатации.

Установка «Редмет-90М» предназначена для выращивания бездислокационных монокристаллов кремния методом Чохральского.

Установка «Редмет-90М» включает в себя печной агрегат, блок силового электропитания, систему индикации, контроля и управления.

 

Основные технические данные установки «Редмет-90М»:

Показатель Значение
Величина загрузки тигля до 210 кг
Максимальный диаметр монокристалла 300 мм
Осевое перемещение затравки до 3000 мм
Диаметр тигля 508 мм, 610 мм
Установленная мощность 250 кВт
Скорость перемещения затравки
рабочая (0,25… 7,6) мм/мин
маршевая (14…720) мм/мин
Частота вращения затравки (1…36) об/мин
Скорость перемещения тигля
рабочая (0,03…0,77) мм/мин
маршевая 46 мм/мин
Частота вращения тигля (1…28) об/мин
Величина хода штока тигля 450 мм
Вакуум предельный 5·10-2 торр
Давление инертного газа
на входе 2,0 ати
в камере (5…20) торр
Расход инертного газа (1000…4000) л/ч
Давление воды
на входе (2…4) ати
на выходе свободный слив
Расход воды до 10 м3 /ч
Электропитание установки трехфазное,380/220В,50Гц
Система управления компьютеризированная
Габариты печного агрегата
ширина 1900 мм
глубина 2350 мм
высота 7400 мм
высота при поднятой камере 8200 мм
Масса печного агрегата 4500 кг

 

Примечание: описание технологии на примере установки серии «Редмет».

 



отдел технологий

г. Екатеринбург и Уральский федеральный округ

Звони: +7-908-918-03-57



или пиши нам здесь...

карта сайта

монокристаллический кремний
кремний монокристаллический цена
монокремний
пластины монокристаллического кремния
монокристаллический кремний поликристаллический
монокристаллический кремний солнечная батарея
панели монокристаллического кремния
монокристаллический кремний производство
монокристаллический кремний купить
получение монокристаллического кремния
карбид кремния монокристаллический
кремний монокристаллический цена за кг
кремний монокристаллический экэс цена
производители монокремния в россии
поли и монокристаллический кремний цена
монокремний или поликремний что лучше
изготавливаем пластины кремний монокристаллический кэф кэс пластины
применение пластин из монокристаллического кремния
пластины монокристаллического кремния цена

 

Еще технологии:

comments powered by HyperComments