Электронная литография.
Электронная литография – это метод нанолитографии с использованием электронного пучка, в ходе которого на подложке материала получаются изображения с разрешением менее 1 нм.
Электронная литография:
Электронная литография (или электронно-лучевая литография) – это метод нанолитографии с использованием электронного пучка.
Принцип метода электронной литографии заключается в следующем. На подложку материала наносится слой полимера (резиста), чувствительного к электронному облучению. Поверхность полимера (резиста) облучается электронным пучком. При этом электронный пучок, остросфокусированный с помощью магнитных линз, прорисовывает на поверхности полимера (резиста) изображение (текст и пр.), которое проявляется только после обработки полимера в проявителе. Обработка электронным пучком полимера (резиста) изменяет степень его растворимости в растворителе (проявителе). Далее, участки поверхности подложки, с отрисованным на них изображением, очищаются от резиста с помощью проявителя. Затем на прорисованные и очищенные участки поверхности подложки производится вакуумное напыление соответствующего материала (металлов, сплавов и пр.) или ионное травление. После чего, не неэкспонированный излучением полимер (резиста) смывают другим растворителем. В итоге получается фотошаблон-маска для использования в фотолитографии и других нанотехнологических процессах, например, в технологии реактивного ионного травления.
Преимуществом электронной литографии является то, что она позволяет получать изображения с разрешением менее 1 нм, в то время как в ходе обычной фотолитографии получаются изображения с разрешением 100 нм. На разрешение деталей рисунка при записи влияют как размер электронного пучка, так и процессы взаимодействия электронного пучка с резистом.
Недостатком электронной литографии является ее низкая производительность по сравнению с другими методами литографии (оптической литографией, рентгеновской литографией, ультрафиолетовой фотолитографией на эксимерных лазерах, фотолитографией в глубоком ультрафиолете). Поэтому она используется при производстве единичных экземпляров электронных компонентов наноразмерных разрешений для использования в промышленности или в научных исследованиях.
Изображения на резист могут быть записаны растровым способом, векторным способом или способом записи электронным пучком с изменяющимся размером и формой сфокусированного пятна. В последнем случае запись происходит «большим мазком».
Ссылки на источники:
Ниже указаны ссылки на источники:
Примечание: © Фото https://www.pexels.com, https://pixabay.com