Модернизированная технология получения поликристаллического кремния.
В основе российской модернизированной технологии получения поликристаллического кремния лежит метод водородного восстановления кремния из трихлорсилана. Ее особенностью является применение высокопроизводительного оборудования и рециркуляционных контуров с целью максимального использования исходных веществ для получения целевых продуктов.
Описание модернизированной технологии получения полукремния
Характеристики поликристаллического кремния
Описание модернизированной технологии получения полукремния:
Основу технологии получения поликристаллического кремния составляет «Сименс-процесс», который в мировой практике является основным способом получения материала. Российская технология получения поликристаллического кремния модернизирована, она обеспечивает наилучшие показатели производства кремния «электронного» или «солнечного» качества.
В основе российской модернизированной технологии лежит метод водородного восстановления кремния из трихлорсилана. Ее особенностью является применение высокопроизводительного оборудования и рециркуляционных контуров с целью максимального использования исходных веществ для получения целевых продуктов.
Модернизированная технология получения поликристаллического кремния в промышленном масштабе включает следующие основные технологические переделы и отделы:
– синтез хлористого водорода из водорода и хлора,
– синтез трихлорсилана путем гидрохлорирования кремния,
– пылеочистка парогазовой смеси после синтеза трихлорсилана,
– разделение и очистка хлорсиланов (ректификация),
– водородное восстановление кремния с использованием парогазовой смеси: трихлорсилан – водород,
– гидрирование тетрахлорида кремния до трихлорсилана с использованием парогазовой смеси: тетрахлорид кремния – водород,
– конденсация и регенерация парогазовой смеси, образовавшейся при синтезе трихлорсилана, а также в процессах водородного восстановления и гидрирования,
– обезвреживание и утилизация жидких, твердых и газообразных отходов производства,
– контроль качества и сертификация исходного сырья, промежуточной и готовой продукции,
– подготовка поликремния для реализации как товарной продукции (колка, упаковка и др.).
Применение поликремния:
Поликремний полупроводниковой чистоты является основным сырьем для изготовления изделий полупроводниковой техники, включая дискретные и интегральные приборы микроэлектроники, солнечные фотоэлементы, солнечные батареи и солнечные панели.
Характеристики поликристаллического кремния, получаемого в результате модернизированной технологии:
| Характеристики: | Значение: |
| Уровень акцепторов | 0,1 – 0,05 ppba (р – тип, ρ = 3000 – 5000 Ом*см и выше) |
| Уровень доноров | 0,1 – 0,15 ppba (n – тип, ρ = 300 – 500 Ом*см и выше) |
| Содержание углерода | 0,1 – 0,15 ppma |
| Суммарное содержание металлов в объеме (Fe, Cu, Ni, Cr) | 5 – 10 ppba |
| Суммарное содержание металлов на поверхности (Fe, Cu, Ni, Cr) | ≤5 ppba |
производство получение завод технология производства поликристаллического кремния кристалл
аморфный поликристаллический кремний своими руками гост размеры цена за кг солнечные батареи
монокремний или поликремний что лучше производство
поликремний роснано цена за кг