Производство монокристаллического кремния

Производство монокристаллического кремния по методу Чохральского.

 

 

Производство монокристаллического кремния осуществляется из поликристаллического кремния по методу Чохральского в специальных установках.

 

Описание

Основные технические данные установки «Редмет-90М»

 

Описание:

Производство монокристаллического кремния осуществляется из поликристаллического кремния по методу Чохральского в специальных установках.

Суть метода Чохральского – стабильный рост монокристаллов за счет вытягивания из расплава с помощью затравочного кристалла, такой же чистоты, как и монокристалл. В тигель загружается шихта (например, кремний) и начинается процесс плавления до определенной температуры выше температуры плавления (для кремния – 1415 градусов). После в расплав вводится затравка, выдерживается некоторое время и начинает подниматься, вращаясь с определенной скоростью (например, 2 мм/мин) и вытягивая монокристалл с определенной скоростью. Тигель вращается в противоположную сторону, оптимизируя массообмен в расплаве. Начинается вытягивание монокристалла в более холодную зону. После того как кристаллизация на конце затравки началась, растет цилиндр монокристалла длиной в несколько сантиметров, а после происходит формирование диаметра монокристалла за счет плавного понижения температур в расплаве. К завершению процесса температуру вновь поднимают выше температуры, при которой происходил рост для формирования цилиндрической структуры в несколько сантиметров. После температуры медленно понижают и монокристалл извлекают из ростовой установки.

За последние пять десятилетий создано и широко внедрено 10 поколений промышленных установок для выращивания монокристаллов кремния по методу Чохральского серии “Редмет”.

Установка «Редмет-90М» является развитием серии установок «Редмет» и базируется на конструктивных решениях, прошедших многолетнюю отработку в серийном производстве. Ее отличают надежность работы, удобство обслуживания, простота изготовления и эксплуатации.

Установка «Редмет-90М» предназначена для выращивания бездислокационных монокристаллов кремния методом Чохральского.

Установка «Редмет-90М» включает в себя печной агрегат, блок силового электропитания, систему индикации, контроля и управления.

 

Основные технические данные установки «Редмет-90М»:

Характеристики:	Значение:
Величина загрузки тигля, кг	до 210
Максимальный диаметр монокристалла, мм	300
Осевое перемещение затравки, мм	до 3000
Диаметр тигля, мм	508, 610
Установленная мощность, кВт	250
Скорость перемещения затравки
рабочая, мм/мин	(0,25… 7,6)
маршевая, мм/мин	(14…720)
Частота вращения затравки, об/мин	(1…36)
Скорость перемещения тигля
рабочая, мм/мин	(0,03…0,77)
маршевая, мм/мин	46
Частота вращения тигля, об/мин	(1…28)
Величина хода штока тигля, мм	450
Вакуум предельный, торр	5·10-2
Давление инертного газа
на входе, атм	2,0
в камере,торр	(5…20)
Расход инертного газа, л/ч	(1000…4000)
Давление воды
на входе, атм	(2…4)
на выходе	свободный слив
Расход воды, м3 /ч	до 10
Электропитание установки	трехфазное, 380/220В, 50Гц
Система управления	компьютеризированная
Габариты печного агрегата
ширина, мм	1900
глубина, мм	2350
высота, мм	7400
высота при поднятой камере, мм	8200
Масса печного агрегата, кг	4500

 

Примечание: описание технологии на примере установки серии “Редмет”.

 

монокристаллический кремний
кремний монокристаллический цена
монокремний
пластины монокристаллического кремния
монокристаллический кремний поликристаллический
монокристаллический кремний солнечная батарея
панели монокристаллического кремния
монокристаллический кремний производство
монокристаллический кремний купить
получение монокристаллического кремния
карбид кремния монокристаллический
кремний монокристаллический цена за кг
кремний монокристаллический экэс цена
производители монокремния в россии
поли и монокристаллический кремний цена
монокремний или поликремний что лучше
изготавливаем пластины кремний монокристаллический кэф кэс пластины
применение пластин из монокристаллического кремния
пластины монокристаллического кремния цена