Комплекс уникальных электрофизических установок «УНИКУУМ»

Комплекс уникальных электрофизических установок «УНИКУУМ».

 

 

Комплекс уникальных электрофизических установок «УНИКУУМ» создан для эффективной электронно-ионно-плазменной модификации поверхности материалов и изделий и включает в себя шесть вакуумных пучковых и плазменных установок.

 

Комплекс уникальных электрофизических установок «УНИКУУМ»

Возможности и особенности комплекса уникальных электрофизических установок «УНИКУУМ»

Ссылки на источники

 

Комплекс уникальных электрофизических установок «УНИКУУМ»:

Комплекс уникальных электрофизических установок «УНИКУУМ» (УНУ «УНИКУУМ») создан для эффективной электронно-ионно-плазменной модификации поверхности материалов и изделий.

Комплекс уникальных электрофизических установок «УНИКУУМ» включает шесть вакуумных пучковых и плазменных установок «СОЛО», «ДУЭТ», «ТРИО», «КВАДРО», «КВИНТА» и «КОМПЛЕКС». Установки способны к генерации субмиллисекундных интенсивных электронных пучков, низкотемпературной плотной газовой и металлической плазмы, а также смешанной газометаллической плотной плазмы как самостоятельных, так и несамостоятельных сильноточных разрядов низкого давления. Однородная плазма, синтезированная в значительных  ≥ 0,1 м3 вакуумных объёмах в данных установках, используется как для непосредственной обработки поверхности материалов и изделий (очистка, активация, азотирование, напыление покрытий), так и в качестве эффективного эмиттера электронов и ионов в источниках заряженных частиц.

С помощью комплекса уникальных электрофизических установок «УНИКУУМ» можно осуществлять следующие технологические операции:

– комплексную электронно-ионно-плазменную модификацию поверхности металлических и металлокерамических материалов и изделий (включая твердые карбидные сплавы типа WC-Co и TiC-NiCr) в едином вакуумном цикле,

– обработку органических материалов и продуктов высокоэнергетичным (до 200 кэВ) импульсным электронным пучком (модификация структуры, стерилизация и активация поверхности),

– нанесение декоративных, износостойких, термобарьерных, антикоррозионных, твердых и сверхтвердых покрытий (и иных уникальных покрытий) методом плазменно-ассистированного электродугового напыления (в т.ч. нанесение многокомпонентных и многослойных покрытий),

– азотирование титановых и стальных деталей в плазме несамостоятельного дугового разряда низкого давления,

– электронно-пучковую модификацию поверхности металлических и металлокерамических материалов и изделий (полировка, упрочнение поверхности, повышение коррозионной стойкости), в том числе миксинг покрытий.

 

Возможности и особенности комплекса уникальных электрофизических установок «УНИКУУМ»:

– нанесение твердых и сверхтвердых покрытий с регулируемой in situ стехиометрией;

– обработка систем покрытие/подложка с возможностью перемешивания материала покрытия (толщиной ~ 1 мкм) с материалом подложки на глубину до 20 мкм;

– электронно-пучковая абляция материала мишени с возможностью нанесения различных покрытий и их последующим перемешиванием с материалом подложки в одном цикле вакуумной откачки;

– проведение комплексных процессов обработки, включающих ионную очистку, диффузионное насыщение и напыление покрытий,

– глубина ионно-плазменной обработки – до 500 мкм;

– глубина электронно-пучковой обработки составляет 1-20 мкм;

– возможность обработки изделий сложной формы (штампы, пресс-формы);

– возможность конвейерной обработки материалов и изделий;

– возможность использования композиционных катодов;

– возможность одновременного или поочередного использования двух материалов катода;

– возможность использования манипулятора.

 

Ссылки на источники:

Ниже указаны ссылки на источники:

http://tehnoomsk.ru/node/3798 ; http://ckp-rf.ru/usu/434216/ ;  http://www.hcei.tsc.ru/ru/cat/unu/unikuum/unikuum.html .

 

Примечание: описание технологии на примере комплекса уникальных электрофизических установок «УНИКУУМ».

© Фото https://www.pexels.com, https://pixabay.com